EUV光刻机出货42台 2021年 ASML销售额186亿欧元

发布时间：2022-01-19 21:44:54来源：维科网激光

1月19日，全球光刻机龙头ASML公布了其2021年第四季度和2021全年的业绩。

第四季度净销售额为50亿欧元，毛利率为54．2％，净收入为18亿欧元；

2021年净销售额为186亿欧元，毛利率为52．7％，净收入为59亿欧元。

ASML预计2022年第一季度净销售额在33亿至35亿欧元之间，毛利率约为49％。

ASML预计2022年的净销售额将比2021年增长约20％。

ASML的CEOPeterWennink表示：＂今年的总净销售额为186亿欧元，其中包括42台EUV设备63亿欧元的销售额。对ASML来说，2021年是在动态环境中强劲增长的一年。”同时，市场需求超过了公司的生产能力，为了支持客户，公司正在提供提高生产率的解决方案，跳过部分在公司工厂完成的测试环节，最终测试和正式验收将直接在客户现场进行，这将会导致出货收入确认延迟。

Intel全球首个下单ASML下一代EUV光刻机

在ASML的EUV业务中，公司在第四季度收到一份TWINSCANEXE：5000的订单（该设备在2018年已收到了四份订单）。2022年初，收到了下一代TWINSCANEXE：5200的第一份订单，标志着ASML在0．55NAEUV的道路上迈出了下一步。

值得一提的是，TWINSCANEXE：5200的首个采购方为英特尔。该款最新设备是具有高数值孔径的极紫外（EUV）大批量生产系统，每小时生产率超过200片，这是两家公司长期在High-NAEUV技术方面合作框架的一部分。英特尔在2018年率先购买了早期的TWINSCANEXE:5000系统，随着刚刚宣布的新订单，合作继续为英特尔将在2025年开始的High-NAEUV的生产制造提供了路径。

TWINSCANEXE:5000和EXE:5200系统提供了0.55数值孔径，相较于之前EUV设备0.33数值孔径，精度有所提高，能够为更小的晶体管特征进行更高分辨率的图案制作。

在DUV业务中，XT：860N在2021年底被交付给第一个客户。这个KrF系统具备更好的性能和更低的曝光成本。2022年，ASML将在NXT平台上增加KrF，推出NXT：870，在ArFi和ArFdry这一平台的现有经验基础上，进一步提升生产力，节省拥有成本。

ASML第一台为大批量制造而设计的eScan1100多光束检测系统计划在未来几周内发货。eScan1100有25个光束（5x5），预计与单一的电子束检测工具相比，eScan1100的吞吐量可提高15倍，可用于目标在线缺陷检测。

通快为ASMLEUV光刻机光源的供应商

为强化光刻技术，ASML于2012年收购全球知名准分子激光器厂商Cymer，以加强光刻机光源设备及技术；2015年，ASML向通快订购了15台EUV光刻工具。此后，EUV光刻业务成了通快发展的重心之一，2016年至今的历年财报均强调EUV业务为通快集团业务作出了重大贡献。2017年，通快宣布成功收购AccessLaser85％的股权，后者建立早期专注研发CO2激光器，利用在定制激光器方面的强大知识，于2012年成为EUV市场的核心供应商。收购完成后，通快迅速加强EUV相关设备研发，一举成为ASMLEUV光刻机光源的供应商。

EUV光刻最大的挑战之一是如何产生波长极短的13.5nm的光。为实现这一点，荷兰ASML（光刻系统制造商）、德国Zeiss（镜头制造商）和德国Trumpf（光源制造商）紧密合作，通过多年努力最终研制出每秒可加工100多个晶圆的独一无二的CO2激光系统。这套系统的工作过程为：锡发生器每秒发射5万滴锡珠，通过真空室并被激光脉冲击中。当激光脉冲击中锡珠时，锡珠被电离并产生高强度的等离子体，同时发出波长为13.5nm的EUV光。随后收集器收集EUV光，并通过反射镜将其输送到光刻机上，对晶圆进行雕刻。EUV光刻市场为通快集团业绩提供了有力支撑。通快2019/20财年年报显示，有关EUV应用的销售额同比增长了近20％，达4.6亿欧元。

编译整理自ASML

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